Полезное:
Как сделать разговор полезным и приятным
Как сделать объемную звезду своими руками
Как сделать то, что делать не хочется?
Как сделать погремушку
Как сделать так чтобы женщины сами знакомились с вами
Как сделать идею коммерческой
Как сделать хорошую растяжку ног?
Как сделать наш разум здоровым?
Как сделать, чтобы люди обманывали меньше
Вопрос 4. Как сделать так, чтобы вас уважали и ценили?
Как сделать лучше себе и другим людям
Как сделать свидание интересным?
Категории:
АрхитектураАстрономияБиологияГеографияГеологияИнформатикаИскусствоИсторияКулинарияКультураМаркетингМатематикаМедицинаМенеджментОхрана трудаПравоПроизводствоПсихологияРелигияСоциологияСпортТехникаФизикаФилософияХимияЭкологияЭкономикаЭлектроника
|
ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ 1 page7-1. ПРИНЦИП ДЕЙСТВИЯ И ОБЛАСТЬ ПРИМЕНЕНИЯ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ Простейший электростатический (ЭС) преобразователь содержит два электрода площадью S, параллельно расположенных на расстоянии 6 в среде с диэлектрической проницаемостью е. ' С электрической стороны преобразователь характеризуется напряжением U между пластинами, зарядом q = CU, где С — емкость, равная при плоскопараллельном расположении пластин С = eS/6 (без учета краевого эффекта), током i — dq!dtf энергией электрического поля W9 = qU!2 = CU2/2. Если одна из пластин (или диэлектрик между ними) имеет возможность перемещаться, то с механической стороны преобразователь характеризуется жесткостью подвеса подвижной пластины w9 перемещением ее х, скоростью перемещения v = dx/dt и электростатической силой притяжения f9C = dWJdx. Взаимосвязь механической и электрической сторон преобразователя отражается уравнениями: dF = wx+ Е0С0и; dq = Е0С0х + С0и. Эти уравнения даны в линеаризованной форме, т. е. в предположении, что и и х малы по сравнению с начальными напряжением и зазором и, следовательно, емкость С0 и напряженность поля Е0 постоянны. Из приведенных уравнений видно, что любое воздействие с механической стороны меняет электрическое состояние преобразователя и, наоборот, изменение электрического поля приводит к изменению механических характеристик. Коэффициент электромеханической связи (см. § 2-4) km = Е0С0. Эта взаимосвязь должна учитываться при любых применениях ЭС преобразователей. Например, из первого уравнения следует, что если напряжение и зависит от перемещения х, то эквивалентная жесткость включенного в цепь преобразователя отличается от жесткости подвеса. Из второго уравнения видно, что ток через преобразователь определяется не только составляющей h — (dq/dfyx =vC^du!dty но и не всегда учитываемой составляющей, обусловленной перемещением электродов: i2 = (dq/dt)2 = EQC^dxldt. Выходной величиной электростатического преобразователя может быть: а) изменение емкости С, б) сила f3Ct в) ЭДС, генерируемая при взаимном перемещении электродов, находящихся в электрическом поле. Для ЭС преобразователей, в которых изменяется емкость, входными величинами могут быть механическое перемещение, изменяющее зазор или площадь, или изменение диэлектрической проницаемости е под действием изменения температуры или состава диэлектрика. ЭС преобразователи с изменяющейся емкостью (называемые в этом случае емкостными) используются в различных датчиках прямого преобразования, а также как преобразователи неравновесия в датчиках уравновешивания. Емкостные преобразователи работают на переменном токе несущей частоты со, которая должна значительно превышать наибольшую частоту Q изменения емкости под действием измеряемой величины. В качестве емкостных преобразователей используются также запертые р-п-переходы: р и га-области играют роль пластин, разделенных обедненным слоем, ширина которого 6, а соответственно и емкость р-п-перехода изменяются под действием приложенного напряжения. Эти полупроводниковые элементы называются варикапами. Для ЭС преобразователей с выходной величиной в виде силы входной величиной является напряжение. Эти преобразователи используются в электростатических вольтметрах, а также в датчиках уравновешивания в качестве обратных преобразователей давления. При емкости, принудительно изменяемой по известному закону, например С = С0 + ДС sin Qt7 ЭС преобразователь работает в емкостных модуляторах и измерителях поверхностных зарядов (генераторный режим). ЭС преобразователь емкостного модулятора в зависимости от постоянной времени jRC-цепи (рис. 7-1) может работать в режиме заданного заряда при QRC 1 и заданного напряжения при QRC 1. В первом случае
т.-е. выходной величиной является переменная составляющая напряжения Uс (или UR). Во втором случае Uc = Ux = const; q = (C0 + + ДС sin UXJ т. е. выходной величиной, модулятора, пропорциональной постоянному напряжению Uxt является ток i = dq/dt = = U&AC cos Qt. В том же генераторном режиме работают и конденсаторные микрофоны, преобразующие энергию акустических колебаний в электрическую. В этом случае Ux = U0 задается от стабильного источника и переменная составляющая напряжения пропорциональна в зависимости от режима перемещению-пластины конденсатора или скорости ее перемещения. - Эквивалентная схема ЗС преобразователя, схематическая конструкция которого показана на рис. 7-2, а, приведена на рис. 7-2, б, В эквивалентной схеме учитываются емкость С0 между электродами /и2, сопротивление /?ут изоляции между электродами, сопротивление г и индуктивность L кабеля /(, а также паразитная емкость Сп между электродами и заземленными деталями конструкции и между жилой кабеля К и его заземленным экраном Э. Влияние отдельных элементов схемы учитывается в зависимости от конкретных обстоятельств. Так, при работе на низкой частоте сопротивление конденсатора велико и влияние индуктивности и сопротивления ввода не сказывается. При работе на высоких частотах сопротивление конденсатора падает и большую роль начинают играть индуктивность и сопротивление ввода, в то время как шунтирующее действие сопротивления утечки перестает сказываться. В этом слут чае удобнее последовательная эквивалентная схема преобразователя (рис. 7-2, е), где гт — г и Сэкв = С0 + Сп. Влияние сопротивления утечки может быть учтено соответствующей добавкой в сопротивлении гэкп = г + 1/ (о>2С1кв^ут)- Действие индуктивности токопод- водов начинает сказываться обычно на частотах свыше 10 МГц.. В эквивалентной схеме ЭС преобразователя с диэлектриком должны быть учтены потери в последнем. Из-за потерь в ЭС преобразователе сдвиг фаз между напряжением и током оказывается меньше п/2 на угол потерь 6. Последовательная и параллельная схемы, учитывающие потери в диэлектрике, представлены на рис. 7-2, г. Эквивалентные сопротивления для этих схем выражают часто через приводимый в справочных данных тангенс угла потерь б как г1эКБ = tg 6/ (соС1экв) или #2ш= 1/(GW tg б). Емкости С1экв и С2экв связаны между собой зависимостью С2экв = С15КВ/ (1 + tg б), и, так как обычно tg6«Cl, их можно считать приблизительно равными: С1экв ~ ~ С2акв «Сзкв. В образцовых воздушных конденсаторах tg б не превышает 5-10"5, так как определяется только потерями в изоляции между электродами и в материале, электродов. В конденсаторах с диэлектриком угол потерь значительно больше и, кроме того, может зависеть от напряжения на конденсаторе, ча В некоторых случаях при наличии диэлектрика между электродами преобразователя приходится считаться с тем, что после поляризации диэлектрики еще в течение какого-то времени (0,1—2 с) сохраняют заряд (абсорбция), что приводит к остаточным напряжениям, достигающим нескольких процентов от значения приложенного напряжения. Влияние абсорбции в эквивалентной схеме конденсатора в первом приближении можно учесть включением параллельно емкости С0 цепочки, состоящей из емкости Са и сопротивления /?я. Поэтому полная эквивалентная схема ЭС преобразователя может быть представлена в виде рис. 7-2, д.
При работе ЭС преобразователей на постоянном токе нужно учитывать существующую между электродами контактную разность потенциалов (КРП), включаемую в эквивалентной схеме последовательно с емкостью. КРП зависит от природы материалов, свойств и чистоты поверхности и существует даже между электродами, выполненными из одного и того же материала. Так, между электродами, выполненными из алюминия высокой чистоты, КРП может достигать 1 В. Лишь применение специальных мер позволяет снизить КРП до значения 10—20 мВ. Допустимое напряжение на конденсаторе определяется значением напряженности, при которой наступает пробой воздушного промежутка. Для воздуха при нормальном давлении и зазорах между пластинами 0,1—10 мм эта напряженность составляет 2—3 кВ/мм. При зазорах, меньших 0,1 мм, можно не снижать напряжения, так как при напряжениях, меньших 350 В, воздушный промежуток вообще не пробивается независимо от длины зазора. В ряде случаев напряжение питания ограничивается допустимыми силами электростатического притяжения между пластинами. В- одинарном преобразователе при диаметре пластины d = 25 мм, зазоре 6 = 0,1 мм и напряжении U = 50 В значение электростатической силы достигает f9C = U4S/ (26)2 = 6-10"4 Н. В дифференциальном преобразователе с переменным зазором (см. рис. 7-9, д), силы, действующие между парами пластин, направлены встречно и компенсируют друг друга. Однако полная компенсация возможна только, если входное сопротивление цепи, включенной в диагональ моста, бесконечно велико и рабочие емкости ничем не шунтируются. В этом случае уменьшение или увеличение зазора вызывает пропорциональное уменьшение или увеличение напряжения между соответствующими пластинами; сила, действующая между ними, остается неизменной, т. е. разность сил равна нулю независимо от перемещения средней пластины. Зависимость емкости от внешних условий. Относительное изменение емкости С = е5/б определяется как ус = уе + ys — Ye- Площадь как правило, определяется линейными размерами, составляющими 10—100 мм, и изменение этих размеров на 0,1—1 мкм вызывает пренебрежимо малое изменение площади S и емкости С. Зазор б в ЭС преобразователях составляет 10 мкм — 1 мм, и его из-. 2 1 менения даже на 0,1 мкм могут вы- рис 7_3 звать существенную погрешность. Поэтому при конструировании ЭС преобразователей должны быть тщательно продуманы вопросы крепления электродов и защиты от выпадения на рабочих плоскостях электродов каких-либо осадков (герметизация, вакуумирование и т. д.). Одной из основных причин изменения зазора является изменение геометрических размеров, вызываемых линейным расширением материалов под действием температуры. В качестве примера на рис. 7-3 показан емкостный преобразователь для измерения давления. Подвижной пластиной 1 преобразователя служит мембрана, припаянная к латунному корпусу, который ввинчивается в полость, где измеряется Давление. Неподвижная пластина 2 выполнена в виде тонкой медной фольги, наклеенной на кварцевый изолятор. Зазор между пластинами составляет 20 мкм. Толщина кварцевой пластины 3 мм. Коэффициент линейного расширения (КЛР) для латуни, равен 18,9-10~6 К-1, Для кварца 0,5-10~6 К-1. Увеличение зазора при увеличении температуры на один градус составляет Дб = (18,9 -Ь 0,5) Ю"6-3* 10~3 = 55,2-10~9 м = = 0,05 мкм. Полагая, что изменение зазора при действии номинального давления равно 10 мкм, можно оценить приведенную температурную погрешность значением 0,005 К"1- Очевидно, что эта погрешность слишком велика и конструкцию датчика, несмотря на ее простоту, нельзя признать удачной. Диэлектрическая проницаемость воздуха весьма стабильна и мало меняется под действием внешних условий: при изменении температуры на 10 °С уе = 0,002%, при изменении влажности от 30 до 40% Ye = 0*01%, при изменении давления на 10в Н/м2 уЕ = 0,06%. Стабильными диэлектриками являются также плавленый кварц (уЕ = = 5-Ю"6 К-1) и стекло. Диэлектрическая проницаемость ряда керамик, в особенности сегнетокерамик, наоборот, сильно зависит от напряженности приложенного электрического поля, температуры и гидростатического давления. На основе сегнетокерамических материалов выпускаются различные типы варикондов — переменных конденсаторов с нелинейной зависимостью емкости от приложенного напряжения, используемых =в схемах допускового контроля напряжения, а также сегнетокерамические преобразователи реле контроля температуры. Достоинства сегнетокерамических преобразователей — малое потребление мощности (сопротивление между электродами на пен стоянном токе 108—109 Ом) и, следовательно, малый самонагрев. Недостатками, мешающими пока их широкому использованию в измерительных цепях, являются плохая воспроизводимость характеристик у различных образцов и критичность к влиянию внешних факторов. Например, характеристики варикондов зависят от температуры, а температурные характеристики реле контроля температуры зависят от напряженности поля. 7-2. ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ В ВОЛЬТМЕТРАХ И ДАТЧИКАХ УРАВНОВЕШИВАНИЯ Силы, создаваемые ЭС преобразователями, чрезвычайно малы и на несколько порядков меньше сил, которые можно получить в элек? тромагнитных преобразователях. Однако ЭС преобразователи обладают рядом ценных качеств, которые обусловливают их применение в вольтметрах. Во-первых, как видно из формулы вращающего момента ЭС преобразователя Мвр — i/2UzdC/da, вращающий момент пропорционален квадрату напряжения как постоянного, так и переменного тока. Уменьшение напряжения на пластинах преобразователя (см. рис. 7-2) и, следовательно, частотная погрешность начнут проявляться только на частотах, при которых заметно падает напряжение на сопротивлении ввода г = ]/7® + oi®ZJ. Сопротивление г незначительно, и им обычно можно пренебречь: Поэтому частотная погрешность может быть оценена формулой yf — = = to2LC. Обозначив 1 /]/LC = a)0, выражение для погреш ности приведем к виду yf = (о/со0)2 = (///0)2. Частота /0 лежит обычно в пределах 30—100 МГц. Соответственно при yf = 1% верхняя граница частотного диапазона ЭС преобразователей составляет 3—1 МГц, и эти преобразователи используются в вольтметрах с широким частотным диапазоном. Во-вторых, ЭС преобразователь, обладая высоким входным сопротивлением, потребляет исключительно малую мощность: на постоянном токе его входное сопротивление RBK = 109-И0а Ом, на переменном токе ZBX ^ 1/(/соС). Если учесть, что входная емкость преобразователя не превышает 10—100 пФ, его сопротивление даже при частоте f = 1 МГц составляет не менее 10—1 кОм. Наконец, в уравнение преобразования напряжения в силу или вращающий момент входят только стабильные величины — диэлектрическая проницаемость воздуха е0 и геометрические размеры, по щих моментов, широкое применение электроста- тических вольтметров ^ л с пределами измерения 10 В — 100 кВ. Схематическая кон струкция механизма электростатического вольтметра С95 приведена на рис. 7-4. На стойке 2 укреплен на изоляционной колонке 11 неподвижный электрод 10, представляющий собой камеру из двух параллельных пластин. Меж ду этими пластинами находится подвижный электрод 9. Подвижный электрод монтируется на оси 7, на этой же оси прикреплено зеркало 8. Подвижная часть крепится на двух растяжках 1. Растяжки кре- Рис- 7-4 пятся к амортизационным пружинам со втулками 5. На стойке укреплен поводок коррек* тора 4У ограничитель смещения подвижной части 6 и магнит успокоителя 3. Вращающий момент = Противодействующий мо мент УИпр = Wa, где W — удельный противодействующий момент растяжек. Таким образом, угол поворота подвижной части U2 е0 dS, а~2W d da * Шкала электростатических приборов принципиально нелинейна, линеаризации шкалы добиваются выбором специальной формы электродов. Для приборов с меняющейся площадью шкала будет близка к линейной, если удастся выбрать форму электродов так, что в рабочем диапазоне dS/da ^ kla. Вследствие того что вращающие моменты электростатических измерительных механизмов очень малы, для всех конструкций характерен световой отсчет (стрелка в виде луча света) и крепление подвижной части на растяжках, причем одна из растяжек используется как токоподвод к подвижному электроду. В приборах применяются как воздушные, так и магнитоиндукционные успокоители, хотя в отдельных случаях достаточное успокоение создается уже самим подвижным электродом при движении его в узком зазоре между неподвижными электродами. Очень большое внимание при конструировании уделяется стабильности размеров, которые определяют геометрические параметры, входящие в выражение для вращающего момента. Наконец, ЭС преобразователь должен быть защищен от внешних электрических полей, поэтому в электростатических приборах, применяется либо специальный экран, либо металлический корпус. Форма электродов, приведенная на рис. 7-4, используется в вольтметрах с пределами измерения до 1 кВ. Совершенно особую конст- - рукцию имеют ЭС преобразователи, к которым подается напряжение 10—100 кВ. Внешний вид такого прибора и схематическая конструкция механизма показаны на рис. 7-5. Высоковольтный потенциальный электрод 7, размеры и форма которого рассчитываются из условий электрической прочности, закреплен на опорном изоляторе и находится на некотором расстоянии от второго электрода 2 (рис. 7-5, а). В электроде 2, который служит экраном, расположена подвижная часть и шкала измерительного механизма. Экран 2 электрически соединен с подвижным электродом 3, закрепленным на растяжках 4 (рис. 7-5, б). В экране, в области электрода 3, сделаны окна, форма и размер которых определяют шкалу измерительного прибора, так как только через эти окна электростатическое поле электрода 1 проникает через экран 2 и взаимодействует с подвижным электродом 3, создавая вращающий момент.
Электрометры. Схематическая конструкция и эквивалентная схема электрометра, называемого бисквитным, показаны на рис. 7-6, а, б. ЭС преобразователь электрометра состоит из четырех попарно соединенных неподвижных электродов 2 и 3 и находящегося между ними подвижного электрода 1. Система электродов окружена экраном 4. Измеряемое напряжение Ux подключается между электродом / и экраном 4. Источники дополнительного напряжения подключаются к неподвижным электродам 2 и 3 и общей шине, соединенной с экраном. Емкостные связи между отдельными элементами системы электродов показаны на рис. 7-6, б. Энергия электрического поля такой систехмы определяется формулой Wb = 0,5 {[Сыии + Си {U14 - и2Л) + Сгз («/„ - i/H + + 24 + С21 (£/„ - t/14) + Си (t/M - ^34)] + +[C3iusi+с31 (£/м -1/14)+с32 (f/a4 - г/м)] ад Учитывая, что емкости между неподвижными электродами С23 и С32, а также между неподвижными электродами и корпусом С24 "2________________________________________________________ I ] I
1 1 12х
=i=CU \ \ =т д и С34 остаются неизменными, вращающий момент можно выразить формулой Jk\/72 —
/асм
Емкость между подвижным электродом и экраном С14 пренебрежимо мала, так как они разделены неподвижными электродами. Производные dCl2/da и dCl3/da противоположны по знаку, но равны А дС19 | I дСis по значению с погрешностью А = —
обстоятельства, получим для случая U^ = (— U34:
м = 2^ иии2,4 ± А <1/м+1/«)в ± ^(£/24 + £/14) = М0:±ДЛ1 Из этой формулы видно, что а) электрометр может быть использован в качестве множительного преобразователя X и Y, если за несимметриях т = ^ р _ дц/и0 и Ux с U0 возра стает погрешность электрометра у — Д М/М0 = (/0(±m± 2р) / (4t/v). . Электростатические обратные преобразователи. Принцип действия электростатического обратного преобразователя (ЭСОП) основан на возникновении силы между электрически заряженными телами. Сила взаимодействия между двумя пластинами конденсатора (рис. 7-7) F = еSW (26«), где <7 — напряжение между пластинами; 60 — зазор; S — площадь пластин; г — диэлектрическая проницаемость среды. ЭСОП нашли применение в приборах уравновешивания для измерения давления. Давление, создаваемое ЭСОП, составляет Рр = = -eU2/ (26й). Отношение UIб0 ограничено возможностью пробоя (см. § 7-1), соответственно ограничено и давление, создаваемое ЭСОП, максимальное значение давления Яр = 100 Па. Динамические конденсаторы, или емкостные вибрационные преобразователи, применяются при измерении мало меняющихся во времени малых токов или напряжений от источников с большим внутренним сопротивлением. Схематическая конструкция динамического конденсатора мембранного типа с электростатическим возбуждением приведена на рис; 7-8. Неподвижные электроды 1 и 2 укреплены на изоляторах 3. Мембрана 4 служит подвижным электродом. К электроду 1 через резистор подводится измеряемое напряжение Ux. К электроду 2 подводится возбуждающее переменное напряжение ■= Um sin со^, лод действием которого между электродом 2 и мембраной 4 возникает электростатическая сила Р dW3 д (СС/2/2) __ Ц* дС _ дЪ ~ дб ~ 2 дд> ~~ = у u*m sin2 cot = ^ ^ (1 - cos 2(0/). Эта сила вызывает постоянное смещение мембраны и ее вибрацию с частотой 2(0. Таким образом, зазор между электродом /.и мембраной 4 также изменяется с частотой 2ю и может быть определен формулой бг = 601 + 6m cos 2шt, где б01 — средний зазор. Емкость конденсатора, образованного электродом 1 и мембраной 4, меняется как
| Cos2(o//6 * • ПРИ включении конденсатора С± в режиме заданного заряда (см. рис. 7-1), т. е. при обеспечении условия Ce^Rj (Ri + Ян)> 1/(2co), напряжение на обкладках конденсатора меняется как UCl = UXCQXICX = Ux (1 + cos 2&tf/601). Конденсатор C3 отфильтровывает постоянную составляющую, и выходное напряжение динамического конденсатора пропорционально их и изменяется с частотой 2 со, £/вых = kUx cos Коэффициент преобразования k~ Um BWX/Ux составляет обычно не более 0,1—0,2. Мощность, потребляемая динамическим конденсатором от источника измеряемого напряжения, определяется сопротивлением изоляции конденсатора, т. е. Ryl, В качестве изоляторов применяется алундовая и цель- зеиновая керамика. Сопротивление R^ составляет 1014 — 10" Ом. В качестве систем возбуждения используются системы электромагнитного, электростатического и пьезоэлектрического типов. Технологически трудно исключить все паразитные связи и добиться полной развязки между электрической цепью системы возбуждения и выходной цепью преобразователя. Поэтому в выходном напряжении преобразователя присутствует помеха, частота которой равна частоте напряжения возбуждения. Для уменьшения этой помехи путем фильтрации необходимо, чтобы частоты выходного сигнала и возбуждающего напряжения не совпадали. В рассматриваемом преобразователе, например, эти частоты отличаются в два раза. Наиболее существенной погрешностью преобразователя является дрейф напряжения между электродами конденсатора, называемый дрейфом нуля. На величину дрейфа наибольшее влияние оказывает нестабильность контактной разности потенциалов (см. § 7-1), которая даже при применении всех мер стабилизации составляет 50—200 мкВ в сутки. В качестве примера приведем технические характеристики преобразователя типа ДРК-3: С0 = (15 ±5) пФ; /?ут = Ю14 Ом; k= 0,2; fp = 285 Гц; Р80Эб = = 15 мВт; (/др (/) = 250 мкВ/сут; *Удр (О) = 40 мкВ/К. I 7-3, ЕМКОСТНЫЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ Конструкции емкостных преобразователей. На рис. 7-9, а показано устройство емкостного преобразователя для измерения уровня. Преобразователь состоит из двух параллельно соединенных конденсаторов: конденсатор Сг образован частью электродов и диэлектриком — жидкостью, уровень которой измеряется; конденсатор С0 — остальной частью электродов и диэлектриком — воздухом. Емкость 2л преобразователя С = Сг + С0 = [/е + (/0 — 0 £0] 1п» где ~~ пол~
ная длина цилиндра; I — длина, на которую цилиндр заполнен На рис. 7-9, б изображен емкостный зонд для измерения уровня проводящей жидкости. Емкостный зонд был предложен для измерения высоты волн и представляет собой остеклованный электрод 1. Электродом 2 служит проводящая жидкость, которая присоединяется к измерительной цепи при помощи электрода 3. 2зт8 Емкость С = / ln» где ^ — глубина погружения; е — ди электрическая проницаемость стекла; Rt и R2 — внешний и внутрен-
ний радиусы стеклянного покрытия. Вместо специального электрода может быть использован кусок провода, покрытого изоляцией, не смачиваемой жидкостью. На рис. 7-9, в показан принцип устройства емкостного преобразователя для измерения толщины ленты из диэлектрика. Испытуемая лента 1 протягивается с помощью роликов 2 между обкладками 3 конденсатора. Если длину зазора между обкладками конденсатора обозначить 6, площадь обкладок 5, толщину ленты и ее диэлектрическую проницаемость ел, то емкость С можно выразить какС =
|