Полезное:
Как сделать разговор полезным и приятным
Как сделать объемную звезду своими руками
Как сделать то, что делать не хочется?
Как сделать погремушку
Как сделать так чтобы женщины сами знакомились с вами
Как сделать идею коммерческой
Как сделать хорошую растяжку ног?
Как сделать наш разум здоровым?
Как сделать, чтобы люди обманывали меньше
Вопрос 4. Как сделать так, чтобы вас уважали и ценили?
Как сделать лучше себе и другим людям
Как сделать свидание интересным?
Категории:
АрхитектураАстрономияБиологияГеографияГеологияИнформатикаИскусствоИсторияКулинарияКультураМаркетингМатематикаМедицинаМенеджментОхрана трудаПравоПроизводствоПсихологияРелигияСоциологияСпортТехникаФизикаФилософияХимияЭкологияЭкономикаЭлектроника
Координатный (X-Y) измерительный стенд для контроля сопротивления и толщины
|
|
Рис. 23. Общий вид координатного (X-Y) измерительного стенда для контроля сопротивления и толщины.
Для измерения используются полноразмерные образцы (1300х100 мм).
После операции нанесения ППО измеряется удельное поверхностное сопротивление с использованием четырехзондового метода.
Толщина слоя (аморфного кремния и ППО) измеряется с использованием метода рефлектометрии. При измерении толщины аморфного кремния в модели обработки данных используются оптические константы из базы данных, при необходимости проводится их корректировка по данным эллипсометрии.
Рис. 24. Контактное устройство и пример результатов измерений удельного поверхностного сопротивления.
Рис. 25. Результаты измерения толщины I-слоя методом рефлектометрии.
Date: 2015-07-27; view: 476; Нарушение авторских прав