Координатный (X-Y) измерительный стенд для контроля сопротивления и толщины

Рис. 23. Общий вид координатного (X-Y) измерительного стенда для контроля сопротивления и толщины.

Для измерения используются полноразмерные образцы (1300х100 мм).

После операции нанесения ППО измеряется удельное поверхностное сопротивление с использованием четырехзондового метода.

Толщина слоя (аморфного кремния и ППО) измеряется с использованием метода рефлектометрии. При измерении толщины аморфного кремния в модели обработки данных используются оптические константы из базы данных, при необходимости проводится их корректировка по данным эллипсометрии.

Рис. 24. Контактное устройство и пример результатов измерений удельного поверхностного сопротивления.

Рис. 25. Результаты измерения толщины I-слоя методом рефлектометрии.