Главная Случайная страница


Полезное:

Как сделать разговор полезным и приятным Как сделать объемную звезду своими руками Как сделать то, что делать не хочется? Как сделать погремушку Как сделать неотразимый комплимент Как сделать так чтобы женщины сами знакомились с вами Как сделать идею коммерческой Как сделать хорошую растяжку ног? Как сделать наш разум здоровым? Как сделать, чтобы люди обманывали меньше Вопрос 4. Как сделать так, чтобы вас уважали и ценили? Как сделать лучше себе и другим людям Как сделать свидание интересным?

Категории:

АрхитектураАстрономияБиологияГеографияГеологияИнформатикаИскусствоИсторияКулинарияКультураМаркетингМатематикаМедицинаМенеджментОхрана трудаПравоПроизводствоПсихологияРелигияСоциологияСпортТехникаФизикаФилософияХимияЭкологияЭкономикаЭлектроника






Координатный (X-Y) измерительный стенд для контроля сопротивления и толщины





Рис. 23. Общий вид координатного (X-Y) измерительного стенда для контроля сопротивления и толщины.

 

Для измерения используются полноразмерные образцы (1300х100 мм).

После операции нанесения ППО измеряется удельное поверхностное сопротивление с использованием четырехзондового метода.

Толщина слоя (аморфного кремния и ППО) измеряется с использованием метода рефлектометрии. При измерении толщины аморфного кремния в модели обработки данных используются оптические константы из базы данных, при необходимости проводится их корректировка по данным эллипсометрии.

 

 

Рис. 24. Контактное устройство и пример результатов измерений удельного поверхностного сопротивления.

 

Рис. 25. Результаты измерения толщины I-слоя методом рефлектометрии.

 

 






Date: 2015-07-27; view: 169; Нарушение авторских прав

mydocx.ru - 2015-2019 year. (0.007 sec.) Все материалы представленные на сайте исключительно с целью ознакомления читателями и не преследуют коммерческих целей или нарушение авторских прав - Пожаловаться на публикацию