Уменьшение размеров КМОП

Повысить степень интеграции БИС можно, применяя такую технологию, которая позволяет сократить геометрические размеры отдельных элементов. Было показано, что наибольшего уменьшения размеров можно добиться, используя МОП технологии. Специально для этого был создан систематический метод, известный как метод масштабирования. Сущность его состоит в следующем.

Транзисторы некоторой конкретной БИС спроектированы таким образом, что имеют требуемые параметры. Если теперь все размеры пропорционально сократить в λ раз, то характеристики и параметры транзисторов останутся неизменными, при условии, что во столько же раз сокращены напряжения питания. Такой принцип позволяет систематизировать процесс проектирования, так как, рассчитав параметры некоторого оптимального транзистора в рамках оптимальной технологии, можно в дальнейшем воспользоваться масштабным множителем, сохраняя при переходе к другим размерам все характеристики неизменными. В таблице приведены масштабные множители, в соответствии с которыми должны изменяться различные параметры МОП транзистора при неизменности его характеристик.

Метод масштабирования является достаточно гибким и позволяет осуществлять проектирование, руководствуясь различными критериями. Так, существуют правила проектирования при неизменном напряжении питания и постоянной напряженности поля, правила, минимизирующие время запаздывания сигнала или обеспечивающие минимум мощности рассеяния.