Измерение вакуума

Под измерением вакуума понимают измерение давления разреженного газа. В зависимости от диапазонов измеряемых давлений применяют различные типы манометров. Основными из них являются жидкостные (ртутные), термоэлектрические, электроразрядные и магнитные.

В настоящей работе применяется термопарный манометр (рис. 3). Он состоит из двух частей: манометрической лампы ЛТ – 4М, подключаемой к вакуумной системе, и электрического измерительного прибора ВТ – 2А. Манометрическая лампа выполняет функцию датчика, а с помощью прибора устанавливается режим работы лампы и измеряется давление.

Манометрическая лампа состоит из металлического баллона 1, внутри которого помещена нить накала 2, в виде тонкой платиновой проволоки, и термопары 3 из хромеля и копеля. Термопара приварена к средней части нити накала, благодаря чему между ними осуществляется хороший тепловой контакт. Отросток 4 служит для подключения лампы к вакуумной системе.

Принцип действия манометра заключается в том, что при достаточно низком давлении, когда средняя длина свободного пробега молекул ~ L, теплопроводность газа начинает зависеть от давления. Чем меньше давление, тем меньше теплоотдача с нити накала и поэтому выше температура горячего спая термопары, а следовательно, и ЭДС термопары при том же токе накала. Прибор ВТ–2А, измеряющий термо-ЭДС термопары, может быть проградуирован в милливольтах или непосредственно в единицах измеряемого давления.

Date: 2015-05-05; view: 671; Нарушение авторских прав