ЗАКЛЮЧЕНИЕ. Корректировки в разработке оптимизации метода вакуумного напыления позволили более эффективно использовать оборудование и улучшить качество нанесения тонких

Корректировки в разработке оптимизации метода вакуумного напыления позволили более эффективно использовать оборудование и улучшить качество нанесения тонких слоев и плёнок на подложки.

Поскольку результатом усовершенствования не ставилось улучшение экономических показателей, а только придание ему новых функциональных возможностей, провести сравнительный анализ базового и нового варианта электрической схемы не представляется возможным.

В этой связи в настоящем экономическом расчете ограничимся расчетом себестоимости единицы продукции, которая составляет 1071,39 грн., что не значительно по сравнению с улучшением качества и новых возможностей получения тонких металлических, полупроводниковых слоёв и диэлектрических пленок.

Данная установка содержит ряд опасных и вредных факторов:

1.Электробезопасность, поражение электрическим током в результате пробоя на корпус, в защитных мерах устанавливаем защитное заземление, по которому делаем расчет из которого видно что данное заземление соответствует нормам ПУЭ и обеспечивает безопасность.

2.Возможность взрыва вакуумной колбы в результате воздействия высокого вакуума (напряженность стекла) и высокая температура порядка 1500 градусов, в целях безопасности кварцевый колпак защищен дополнительным колпаком, выполненным из оргстекла.

3. Из-за низкой освещенности может страдать зрение через постоянное напряжение, поэтому устанавливаем дополнительное освещение описанное в разделе 4.1

4. Шум. Согласно нормам для лабораторий соответствует и дополнительно снижен шум за счет кожухов и резиновых амортизаторов.

5. В целях пожарной безопасности в помещении устанавливаются порошковые огнетушители.

Поэтому данная установка является безопасной для эксплуатации и обслуживания.

Список литературы

1. И.Е.Ефимов, И.Я.Козырь, Ю.И.Горбунов. Микроэлектроника.М. Высшая школа. 1986.464с.

2. А.И.Пипко, В.Я.Плисковский, Б.И.Королев, В.И.Кузнецов. Основы вакуумной техники. М. Энергоиздат. 1981. 432с.

3. Технология тонких плёнок. под ред. Л.Майссела, Р. Гленга. М. Сов.радио.1977.664с.

4. Приборостроение и средства автоматики. Справочник в 5 томах. Т.З. под ред. Ю.В.Шарловского. М.:Машиностроение. 1964.599с.

5. Разработка и оформление конструкторской документации РЭА/под ред.Э.Т.Романычевой.М.:Радио и связь.1989.-448с

6. С.Т.Усатенко, Т.К.Каченюк, М.В.Терехова. Выполнение электрических схем по ЭСКД.М.:Издательсво стандартов.1989.325с.

7. Медников М.И. Вводы движения в вакуум.М.:Машиностроение.1974.184с.

8. Милливольтметр для измерения и регулирования температуры типа Щ4541. Техническое описание и конструкция по эксплуатации. ДЖУ 2.821.102ТО

9. М.Л.Каминский, В.М.Каминский, Монтаж приборов и систем автоматизации. ВШ. М, 87г.

10. Д.Л.Кельберт. Охрана труда в электронной промышленности. Учебник для вузов.3-е издание. М. 1990.

11.Кузнецов И.Е. Методические указания к проведению лабораторных работ по курсу охрана труда для студентов всех специальностей.

12.Семерникова И.А. Методические указания к выполнению раздела «Экономика производства» дипломного проекта для студентов специальностей 090212 всех форм обучения. Херсон 2003г.