Природа оже-електронів

При бомбардуванні поверхні матеріалу електронами з енергією, достатньою для іонізації однієї з внутрішніх оболонок атома, наприклад К, виникає первинна вакансія, яка моментально (за 10–14 – 10–16 с) заповнюється електроном, що перейшов з іншої оболонки атома, наприклад М. В результаті чого виникає вторинна вакансія. Якщо ЕК і ЕМ -– енергії, необхідні для перенесення електрона з К і М рівнів на нескінченність, то енергія що виділилась рівна ЕК – ЕМ. Енергія, що виникла може бути реалізована по різному. З одного боку, у вигляді випущеного кванта характеристичного рентгенівського випромінювання hv = EK – EM (радіаційний перехід), а з іншого боку передана електрону зовнішньої оболонки атома, наприклад N (безвипромінювальний перехід або оже-перехід). Енергія |ЕК – ЕМ| – ЕN може бути додатня (або дорівнювати нулю). В цьому випадку електрон емітується у вакуум та реєструється як оже-електрон. Імовірність його виходу залежить від порядкового номеру Z атомів досліджуваного матеріалу. Оскільки імовірність радіаційного переходу з і збільшенням Z збільшується (пропорційно Z4), імовірність появи оже-перехода при цьому зменшується. Так, для легких елементів вона складає приблизно 95%, а для елементів з Z > 70 не перевищує 10%. Глибина виходу оже-електронів d0 в діапазоні енергій, які мають цікавість для електронної оже-спектроскопії, складає 5 – 10, тобто всього декілька моноатомних шарів. Тому можна сказати, що інформація отримана цим методом відноситься до при поверхневої області досліджуваного зразка.

Емітовані електрони якого-небудь елемента, що виникли в результаті оже-процеса, завжди характеризуються деякими значеннями енергії. Звідси, якщо провести аналіз по енергіям електронів, емітованих речовиною під дією пучка первинних електронів, виділити з загального енергетичного спектру ті електрони, які виникли в результаті оже-процесу та визначити їх енергії, то можна зробити висновок про наявність на поверхні того чи іншого елемента.