Полезное:
Как сделать разговор полезным и приятным
Как сделать объемную звезду своими руками
Как сделать то, что делать не хочется?
Как сделать погремушку
Как сделать так чтобы женщины сами знакомились с вами
Как сделать идею коммерческой
Как сделать хорошую растяжку ног?
Как сделать наш разум здоровым?
Как сделать, чтобы люди обманывали меньше
Вопрос 4. Как сделать так, чтобы вас уважали и ценили?
Как сделать лучше себе и другим людям
Как сделать свидание интересным?
Категории:
АрхитектураАстрономияБиологияГеографияГеологияИнформатикаИскусствоИсторияКулинарияКультураМаркетингМатематикаМедицинаМенеджментОхрана трудаПравоПроизводствоПсихологияРелигияСоциологияСпортТехникаФизикаФилософияХимияЭкологияЭкономикаЭлектроника
|
Тенденции развития оборудования для газовой эпитаксии
В развитии оборудования для газовой эпитаксии можно выделить следующие направления: –совершенствование условий ввода газовых потоков в реактор; –повышение стерильности реакционных камер и газовых систем, –агрегатирование нескольких реакционных камер; –снижение рабочей температуры процессов; –создание комплексной системы автоматического управления процессами осаждения с автоматическим контролем и регулированием параметров осаждения с помощью ЭВМ; –разработка конструкций с объемным расположением подложек и их двусторонним нагревом; –разработка оборудования непрерывного действия. За последние годы возрос интерес к оборудованию непрерывного действия для процессов эпитаксиального наращивания. Установка непрерывного действия может представлять собой горизонтальную, открытую с обоих концов трубу для травления подложек и наращивания эпитаксиального слоя (рис.7.5). Труба разделена на несколько температурных и газовых зон, через которые проходят подложки. Газовые барьеры создаются при помощи специальных устройств, четко разделяющих рабочие зоны и поддерживающих заданное направление газовых потоков. Внутрь трубы подается парогазовая смесь, служащая исходным материалом для наращивания эпитаксиаль-ного слоя. Основные' проблемы при реализации непрерывного метода– транспортирование изделий в камере, создание надежных газовых затворов между реакционными зонами, устройствами загрузки и выгрузки, обеспечение задан-ного профиля температур вдоль камеры, выбор материалов для носителей подложки, транс-портного устройства и нагревателя для обеспечения минимального примесного фона. Наиболее приемлемым решением является использование «спутников-носителей» подложек, перемещаемых с помощью транспортных средств или на газовой подушке. Эффективным направлением повышения производительности и экономической целесообразности использования установок и дорогостоящих производственных площадей является агрегатирование нескольких реакционных камер (УНЭС-2). Одновременное проведение вспомогательных операций и процесса наращивания слоя в двух реакционных камерах, автоматизация и программирование основных операций позволили повысить производительность установки.
Date: 2016-07-18; view: 337; Нарушение авторских прав |