Полезное:
Как сделать разговор полезным и приятным
Как сделать объемную звезду своими руками
Как сделать то, что делать не хочется?
Как сделать погремушку
Как сделать так чтобы женщины сами знакомились с вами
Как сделать идею коммерческой
Как сделать хорошую растяжку ног?
Как сделать наш разум здоровым?
Как сделать, чтобы люди обманывали меньше
Вопрос 4. Как сделать так, чтобы вас уважали и ценили?
Как сделать лучше себе и другим людям
Как сделать свидание интересным?
Категории:
АрхитектураАстрономияБиологияГеографияГеологияИнформатикаИскусствоИсторияКулинарияКультураМаркетингМатематикаМедицинаМенеджментОхрана трудаПравоПроизводствоПсихологияРелигияСоциологияСпортТехникаФизикаФилософияХимияЭкологияЭкономикаЭлектроника
LIGA-процесс
|
|
Технология разработана в Германии примерно 30 лет назад. Аббревиатура означает - рентгенолитография, гальваника и формовка. Сущность процесса заключается в использовании рентгеновского излучения от синхротрона для получения глубоких, с отвесными стенками топологических картин в полимерном материале. Излучение синхротрона имеет сверхмалый угол расходимости пучка. Источником излучения являются высокоэнергетические электроны (энергия Е>1ГэВ) движущиеся с релятивистскими скоростями. Глубина проникновения излучения достигает единиц миллиметров. Это обуславливает высокую эффективность экспонирования при малых временных затратах. За счет использование рентгеновских лучей получается высокое разрешающая способность и низкое расхождение пучка.
Подробно этапы LIGA технологии представлены на рисунке.
1) Наносится рентгенорезист (10-1000 мкм).(пропускающий слой состоит из титана, углерода, а поглощающий слой – золото и т.п.) 2) Открытые участки после удаление резиста металлизируется посредством электроформовки – гальванического осаждения слоя металла из электролита. Оставшийся резист удаляется, остается только металлическая структура, соответствующая рисунку шаблона (МЕ – никель, медь, золото, кобальт-никель и железо-никель).
С помощью лиги можно создавать как структуры, так и пресс-формы.
| Параметры процесса | Преимущества | Недостатки |
| 1. Рентгенолитография (синхротрон) в полиметилметакрилате 0 < d < 2 мм. | 1. Имеет наилучшее отношение ширины канала к длине при минимальных размерах | 1. Ограничена возможность комбинирования с полупроводниковой технологией (КМОП). |
| 2. Гальваника. | 2. Структуры с высоким разрешением топографического изображения. | 2. Есть ограничения на форму рельефа и на получение свободно перемещаемых структур. |
| 3.Дочерняя и большая дочерняя копия из полимеров или металла. | 3. Жёсткий допуск. | 3. Ограничена точность по высоте. |
| 4. Возможно получение свободно перемещаемых структур. | 4. Высокая сложность изготовления | |
| 5. Разнообразие материалов. | 5. Чрезвычайно дорогие маски и экспонирование |
Date: 2016-01-20; view: 880; Нарушение авторских прав