Перспективы

Как уже было сказано, метод Атомно-силовой микроскопии может быть использован для производства ЗУ с терабитной плотностью записи. Так специалисты IBM разработали специальную матрицу кантилеверов 32х32 штуки, что позволяет одновременно проводить литографию тысячей кантилеверов. Метод позволяет узнать качественно новую информацию не только о поверхности но и о приповерхностных слоях, - это приведет к развитию диагностики в различных направлениях, - магнитная диагностика АСМ, электростатическая, электропроводная и т. п.

Пленка ориентированного полиэтилентерефталата (ПЭТФ) размещалась в специальном зажиме, на который сверху устанавливалась АСМ. Проводилось сканирование участка поверхности вблизи заметного в оптический микроскоп дефекта, затем образец деформировался. Специальная система винтов позволяла корректировать положение АСМ так, чтобы после деформации можно было вновь исследовать его.

Современная атомно-силовая микроскопия активно используется во всем мире для исследования как полупроводников, так и любых других материалов. Очень широкое развитие она получила по исследованию вирусов, клеток, генов в биологии, - там с ней связывают большие надежды. Интересным является возможность использовать АСМ для литографии, - как механического царапания поверхности шипом, так и окисления поверхности под шипом при подаче на иглу потенциала. Это открывает большие возможности по использованию самого метода СЗМ для нужд нанолитогафии[2].

Литература

1. Миронов В.Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии. 2004. Мир.

2. Рашкович Л.Н. Атомно-силовая микроскопия процессов кристаллизации в растворе // Соросовский образовательный журнал, 2001, №10, с. 102-108.

3. Р. Хейденрайх Основы просвечивающей электронной микроскопии, Москва, Мир, 1966, с.472.

4. Takashi Nishino, Akiko Nozawa, Masara Kotera, and Katsuhiko Nakamae In situ observation of surface deformation of polimer films by atomic force mikroskopy // Rev. Sci. Instrum 71, 5, 2094-2094(2000).

5. Хирш П., Хови. И др. Электронная микроскопия тонких кристаллов. М.: Мир, 1968.