LIGA-процесс

Технология разработана в Германии примерно 30 лет назад. Аббревиатура означает - рентгенолитография, гальваника и формовка. Сущность процесса заключается в использовании рентгеновского излучения от синхротрона для получения глубоких, с отвесными стенками топологических картин в полимерном материале. Излучение синхротрона имеет сверхмалый угол расходимости пучка. Источником излучения являются высокоэнергетические электроны (энергия Е>1ГэВ) движущиеся с релятивистскими скоростями. Глубина проникновения излучения достигает единиц миллиметров. Это обуславливает высокую эффективность экспонирования при малых временных затратах. За счет использование рентгеновских лучей получается высокое разрешающая способность и низкое расхождение пучка.

Подробно этапы LIGA технологии представлены на рисунке.

1) Наносится рентгенорезист (10-1000 мкм).(пропускающий слой состоит из титана, углерода, а поглощающий слой – золото и т.п.) 2) Открытые участки после удаление резиста металлизируется посредством электроформовки – гальванического осаждения слоя металла из электролита. Оставшийся резист удаляется, остается только металлическая структура, соответствующая рисунку шаблона (МЕ – никель, медь, золото, кобальт-никель и железо-никель).

С помощью лиги можно создавать как структуры, так и пресс-формы.