Технология двухсторонней литографии. Применение двусторонней литографии в технологии изготовления сенсора давления на основе Si-профилированной мембраны

Часто литографические шаблоны на обеих сторонах поастины должны быть выровнены относительно друг друга с высокой точностью. Например, изготовление коммерческого датчика давления влечет за собой формирование на передней стороне пластины пьезорезистивных сенсорных элементов, которые выровнены относительно краев прямоугольного соединителя (куда вставляется печатная плата) на задней части пластины. Различные методы совмещения задней части с передней, также известные как двухстороннее совмещение, были введены в коммерчески доступные установки. Должны использоваться отполированные с обеих сторон пластины, чтобы минимизаровать рассеяние света во время литографии.

Несколько компаний, включая SÜSS MicroTec (formerly Karl Süss) of Munich, Germany, EV Group (formerly Electronic Visions) of Schärding, Austria, OAI (formerly Optical Associates) of San Jose, California, and Ultratech, Inc., of San Jose, California, предоставляют оборудование, способное выполнять двухстороннее совмещение и экспонирование. Работа системы SÜSS MA-6 использует запатентованную схему совмещения перекрестных меток на маске и перекрестных меток на задней стороне пластины (рис.). Сперва, метки совмещения на механически зажатой маске наблюдаются снизу набором двойных объективов, и изображение сохраняется в электронном виде (а). Затем пластина устанавливается метками совмещения задней стороны к объективам микроскопа и располагается таким образом, чтобы эти метки совпадали с сохраненным изображением (b, c). После совмещения завершается экспонирование (засветка) маски на лицевой стороне пластины с помощью контактной литографии или литографии с микрозазором. Обычно, ошибка совмещения (или рассогласование) составляет менее, чем 2 мкм.