Конструкция тензорезистора

По конструкции тензорезисторы делятся на:

1. проволочные

2. фольговые

3. плёночные

1.

R =20¸500 Ом

Обозначения:

П – проволочный З – база = 3мм

К – константан 50 – сопротивление тензорезистора (R₀)

Б – бумага

2.

L=0,6÷10 мм

2 Ф К П А

особые условия

прямоугольная решётка

константан

фольговой

коэффициент тензочувствительности (К_т=2)

Недостаток – малое сопротивление.

3. Изготавливаются путём вакуумной возгонки с последующим осаждением его на подложку. Для изготовления плёночных тензорезисторов применяются как металлические, так и п/п материалы. П/п тензорезисторы представляют собой тонкие полоски из кремния р - типа, вырезанные в направлении кристаллографической оси.

Обозначения п/п терморезисторов:

Ю-8, Ю-10

К_Т=20 ÷ 200

R₀=50 Ом ÷10 кОм

Однако п/п терморезисторы имеют большие температурные погрешности, что является существенным недостатком. Кроме того, промышленность выпускает так же и интегральные тензомодули, выращивая тензорезисторы непосредственно на упругом элементе, выполненном из кремния или сапфира. При этом на одном упругом элементе выращивается не один тензорезистор, а структура в виде полумоста или моста, а так же термокомпенсирующий элемент.

КНК – кремний на кремний

КНС – кремний на сапфире