Универсальный метод построения профилей

Глава1.Физические процессы, происходящие при взаимодействии заряженных частиц с веществом

Основные процессы, происходящие при взаимодействии ионов с веществом.

1.1. Перечислить процессы, имеющие место до входа иона в твердое тело.

1.2. К чему приводит взаимодействие ионов с остаточными парами и газами в камере? Каким должно

быть оценочное давление в камере?

1.3. Укажите два основных вида взаимодействия ионов с атомами вещества.

1.4. К чему приводят неупругие взаимодействия?

1.5. В каких материалах может проявиться радиационная проводимость?

1.6. К чему приводят упругие взаимодействия ионов с атомами матрицы?

(Пояснить механизмы отражения, распыления, радиационно-стимулированной диффузии,
радиационно-стимулированного отжига).

Основные процессы, происходящие при взаимодействии электронов с веществом.

1. Пробеги ионов.

3.1.Удельные потери энергии; сечения торможения – как они определяются? Дать понятие пробега ионов
в среде. Записать выражение для пробега ионов через сечения торможения.

3.2.Зависимость пробегов от массы частиц и их зарядов (при равных скоростях или энергиях).

3.3 Перечислить известные формулы для приближенного вычисления сечений торможения при неупругих столкновениях ионов в среде. Особенность формулы Сугиямы – что она учитывает?

3.4.Оценочная формула для пробега иона в среде.

3.5. Оценочное время торможения иона в среде.

Глава2. Моделирование пространственных распределений имплантированной примеси и выделенной

энергии при низкодозовой имплантации.

4. Краткая характеристика методов количественного описания распределений введенной примеси и
дефектов в среде.

4.4.Перечислить эти методы и указать их краткую суть.

Вывод уравнений для распределений имплантированной примеси и выделенной энергии.

5.1. Дать смысл функций F_R, F_D, F_I.

5.2. Перечислить приближения, используемые при выводе уравнений для выше приведенных функций.

5.3. Как определяются средние (пространственные) моменты через функцию распределения? Определение центральных моментов.

5.4. Уметь пользоваться таблицами Буренкова и др. для моментов.

Универсальный метод построения профилей.

6.1.Сущность метода моментов.

6.2.Функции Гаусса и Пирсона 4-го рода. Когда ф. Пирсона приводит к результатам, совпадающим по Гауссу? Изобразить график функции Пирсона для положительных и отрицательных значений коэффициента
асимметрии.

6.3.Как определяются профили через функцию Пирсона 4-го рода?

Расчет моментов при имплантации в вещества сложного состава.

7.1. Что для этого нужно знать?

7.2. Запишите формулу для расчета прективных пробегов в веществе из двух компонентов.

Полиэнергетическая ионная имплантация.

8.1.Что это такое?

8.2.Записать выражения для определения концентрационных профилей примеси при дискретных дозах
легирования и для непрерывного спектра доз.

8.3.К чему сводится задача определения непрерывного распределения дозы легирования и как она решается?

8.4.Что можно определить, зная функцию непрерывного распределения дозы легирования?

Глава 3. Диффузионный механизм массопереноса.

1. Дать понятие потока и удельного потока некоторой физической величины.

2. Что понимается под "мощностью источника"? Что такое "сток"?

3. Связь потоков и полей. Законы Фика, Фурье, Ома, Ньютона.