Металлическая разводка и принципы ее проектирования

Используются следующие варианты пересечения токоведущих дорожек:

· металл — поликремний;

· металл (или поликремний) — диффузионная область.

Пересечение поликремниевой шины с металлической токоведущей дорожкой показано на рисунке 2.7. Пленка поликремния закрывается стекловидной пленкой SiO₂(2), на поверхности которой изготавливается пленка металла.

Рис. 2.1. Сечение (а) и общий вид (б) пересечения металл — поликремний

Пересечения металлической шины с диффузионной областью (p+ или n+(типа) показаны на рисунке 2.8. Но обычно диффузионные шины не делаются длинными по причине их большого сопротивления. Поэтому они изготавливаются как резисторы на основе сильно легированного слоя. Короткие диффузионные шины используются для перемычек при пересечении металлических токоведущих дорожек. Существенным недостатком такой конструкции является наличие двух омических контактов, что снижает надежность микросхемы.

Конструкция диффузионной перемычки показана на рисунке 1.21. Как можно видеть, для ее реализации необходимо изготовление двух контактов. Перемычки используются на первом уровне металлизации.

Вид сверху (а) и разрез (б) диффузионной перемычки