А- передаточная функция при трех разных температурах

Б- приведенная погрешность для трех значений компенсационных резисторов

На практике часто достаточно бывает простой температурной компенсации, выполняемой при помощи подключения к датчику последовательного или параллельного резистора. Подбирая соответствующее значение резистора настраивают рабочий диапазон выходного напряжения датчика (Рис. 5.9б). Однако для осуществления более надежной температурной коррекции в широком диапазоне температур необходимо применение более сложных компенсационных цепей, в которых часто используются детекторы температуры. Альтернативой аппаратной коррекции температуры выступает программная. Для этого используется встроенный детектор температуры, измеряющий температуру датчика давления. Данные обоих датчиков поступают в процессорную систему, гдн проводится их соответствующая цифровая корректировка.

Емкостные датчики

Емкостные датчики давления реализуются на основе кремниевых диафрагм. В таких датчиках перемещение диафрагмы относительно опорной пластины меняет емкость между ними. Емкостные датчики работают наиболее эффективно при невысоких давлениях. Монолитные емкостные датчики давления, изготовленные из кремниевых кристаллов, обладают максимальной стабильностью рабочих характеристик. Перемещение диафрагмы может обеспечить 25% изменение емкости в широком диапазоне значений, что делает возможным проведение прямой оцифровки результатов измерения. В то время как доля диафрагм, используемых в пьезорезистивных датчиках, необходимо обеспечивать максимальное механическое напряжение на краях, для диафрагм в емкостных датчиках существенным является перемещение их центральной части. Диафрагмы в емкостных

датчиках могут быть защищены от избыточного давления при помощи механических ограничителей с каждой стороны диафрагмы.

Для обеспечения хорошей линейности емкостных датчиков необходимо, чтобы диафрагма обладала хорошей поверхностью центральной части. Одним из способом улучшения линейности является использование гофрированных диафрагм. Планарные диафрагмы обладают лучшей тензочувствительностью по сравнению с гофрированными тех же размеров и толщины. Однако при наличии в системе плоскостных растягивающих напряжений изгибы гофрированной мембраны их значительно ослабляют, что приводит к существенному улучшению линейности и чувствительности таких датчиков.