Ионный источник дуаплазмотронного типа

1 – катод;

2 – анод;

3 – промежуточный электрод;

4 – экстрактор;

5 – э/магнит.

Дуаплазмотрон отличается от источника с горячим катодом тем, что за счет создания в зоне экстрагирующего (промежуточного) электрода неоднородного магнитного поля (магнитной линзы) и специальной конфигурации самого электрода происходит существенное сжатие плазмы в относительно небольшой

Система ионно-пучкового транспорта

Должна обеспечивать:

- заданную энергию ионов;

- заданную интенсивность пучка (плотность ионного тока);

- стабильность ионного тока во времени и по площади подложки;

- высокую изотропную чистоту пучка.

Включает в себя:

- ускоритель ионов;

- устройства фокусировки;

- масс-сепаратор;

- системы сканирования ионного пучка.

Требования к ускорителю ионов:

- минимальная потребляемая мощность;

- компактность;

- возможность дополнительной фокусировки пучка;

- минимальное рассеяние и загрязнение пучка;

- исключение пробоев между элементами ускорителя;

- эффективная защита от рентгеновского излучения и высокого напряжения.

Существуют две базовые конструкции ускорителей – одно- или двухпролетные ускорители и ускорительные колонны с постоянным градиентом потенциала. Ускоритель первого типа имеет простую конструкцию, небольшие размееры, но работает только с низкими до 100кЭВ ионами. Электроды изготавливаются из нержавеющей стали или титана. В качестве изолятора применяют тугоплавкое стекло “пирекс” и свинцовую резину для защиты от рентгеновского излучения.